Vakuum örtük prosesinin necə həyata keçirildiyini anlayın

Vakuum örtükyüksək keyfiyyətli nazik film materialları istehsal etmək üçün istifadə olunan bir prosesdir. Tozsorun şəraitində bir substratın səthinə üzvi və ya qeyri-üzvi materialları termoloji və ya qeyri-üzvi materialların səthinə çəkərək nazik filmlər istehsal edir. Bu məqalə vakuum örtüyünün tətbiqi ətraflı şəkildə tətbiq ediləcəkdir.

Vakuum örtük prosesi aşağıdakı addımları əhatə edir:

1. Doğru substrat və material seçin

Doğru substrat və material seçmək vakuum örtüyünün ilk addımıdır. Substrat şüşə, plastik, metal və ya digər nanomateriallar ola bilər. Materiallar metal, yarımkeçiricilər, oksid və ya nitridlər kimi üzvi və ya qeyri-üzvi ola bilər.

2. Tozsoran sistemini yükləyin

İkinci addım substrat və materialları vakuum örtük sisteminə yükləməkdir. Vakuum örtük sisteminə vakuum kamerası, metal buxarlandırıcı, bir tıxac və nəzarət sistemi daxildir. Vakuum Palatası, vakuum mühitini qorumaq üçün istifadə olunan qapalı bir yerdir, metal buxarlandırıcıları və nizəçilər substratlara tıxanır və ya tıxanma sistemi vakuum mühitini və materialları və ya maksimum buxarlanma və ya tüpürmə sürətini tənzimləmək üçün istifadə olunur.

3. Vakuum

Material və substratı yüklədikdən sonra vakuum kamerası təxliyə edilməlidir. Vakuuming çox vacib bir addımdır, çünki aşağı təzyiq və yüksək təmizlik mühitinin qorunması membran keyfiyyətinə zəmanət verə bilər. Vakuum mühiti, ümumiyyətlə qaz molekulları və digər çirkləndiriciləri istisna etmək üçün ümumiyyətlə 10 ^ -6 MBAR-dan aşağıdır.

4. Material buxarlanma və ya sputtering

Vakuumun mühiti istədiyiniz təzyiqə çatdıqda, material buxarlana bilər və ya substratın üstünə tırmanır. Maddi buxarlanma metodu var: termal buxarlanma və elektron şüa buxarlanması. Sputtering də iki üsulu var: Magnetron Sputtering və qövs sputtering. Hansı metoddan istifadə edildiyi, maddi buxarlanma və ya sputtering dərəcəsi və film qalınlığı idarə edilməlidir.

5. Multilayer filmini düzəldin

Bir qatlı membran uydurulduqdan sonra birdən çox təbəqə bir-birinə yığıla bilər. Fərqli materiallar və çökmə prosesləri, məsələn, alternativ çökmə, çox silahlı maddi bir çökmə və zonalı çökmə kimi istifadə edilə bilər.

6. test membran keyfiyyəti

Son addım, membranın keyfiyyətini sınamaqdır. Testlər, digərləri arasında qalınlığı, fiziki xüsusiyyətləri, optik xüsusiyyətləri və elektrik xüsusiyyətləri daxil ola bilər. Membran materialının test nəticələrinə görə tələblərə cavab verdiyini müəyyənləşdirin.

Bir sözlə, vakuum örtük texnologiyası yüksək keyfiyyətli nazik filmlərə nail olmaq üçün bir üsuldur. Müvafiq substrat və materialı seçmək, vakuum örtük sistemini yükləmək, boşaltmaq, material buxarlamaq və ya tüpürmək, çox qatlı film çəkmək və film keyfiyyətini sınamaq lazımdır. Vakuum örtük texnologiyası elektronika, optika, tibbi və enerji sahələrində geniş istifadə edilmişdir.